중국 여우이봇(YOUIBOT, 优艾智合机器人)은 웨이퍼 운반 로봇이 반도체 자동화 공장을 위한 해결책이 될 수 있다고 밝혔다. 여우이봇은 중국 시안(西安)에 본사를 둔 로봇 기업으로, 교육, 과학연구, 유통, 물류 등 다양한 분야에 쓰이는 자율 이동 로봇을 개발 및 판매하고 있다. 여우이봇에 따르면, 반도체 제조에 쓰이는 자동소재핸들링시스템(AMHSㆍAutomatic Material Handling System) 모델이 변화하면서 기존의 OHT 설비 방식의 어려움이 커지고 비용이 많이 드는 것으로 나타났다. 이에 따라 12인치 이상 웨이퍼 제조 공장을 중심으로 자율적 이동과 작동 능력을 갖춘 웨이퍼 운반 로봇의 필요성이 높아지고 있다는 지적이다. 로봇이 높은 유연성과 효율성을 기반으로 반도체 공장의 물류..