주식회사 코베리(대표 김홍중)가 산업통상자원부가 주관하는 국책과제인 '전자부품기술개발사업' 사업자로 선정돼 초고속 초정밀 리니어 모터 기술개발을 추진한다고 19일 밝혔다. 2년간 국비 15.6억원을 지원받아 2022년까지 개발하는 과제다.
이번 과제는 “8세대 OLED 공정장비 구동용 낮은 자기흡입력을 갖는 초고속 초정밀 리니어 모터 개발”이다. 이는 8세대 OLED 제조공정에서 대형 마더글래스의 초고속 구동에 필수적인 기술로서, 특히 증착공정 얼라이먼트에서 요구되는 초정밀 위치제어 성능을 확보하는 것이 주요 목표다
▲코베리가 확보한 신개념 리니어 모터 원천 특허기술
㈜코베리가 주관기관으로 1000N급 리니어 모터 설계ㆍ제작 및 온도변화량 40도까지 커버하는 수냉각 방식의 정밀 리니어 스테이지를 개발하고, 한국전자기술연구원 지능메카트로닉스 연구센터가 참여기관으로 8세대 OLED 공정장비 검증용 0.1um급 초속 초정밀 평가시스템을 함께 구축한다.
▲제안된 평가용 스테이지 시스템 설계 방안
코베리는 리니어모터가 고정밀 제어성능을 내는데 필수적인 무흡입력 설계에 관한 원천특허를 보유한 기업이다. 과제 책임자인 ㈜코베리 김홍중 대표는 “이번 과제를 통해 신개념의 리니어 모터를 상용화하여 공정 장비 및 로봇 산업 발전에 크게 이바지하겠다”며, 성공적인 과제수행 의지를 밝혔다.
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